一、水准仪： 由望远镜、水准器和基座三部分组成。水准仪是为水准测量提供水平视线和对水准标尺进行读数的一种仪器。
S05型和S1型水准仪称为精密水准仪，用于国家一、二等水准测量及其他精密水准测量；S3型水准仪称为普通水准仪，用于国家三 、 四等水准测量及一般工程水准测量 。
水准仪主要功能是测量两点间的高差，它不能直接测量待定点的高程，但可由控制点的已知高程来推算测点的高程。利用视距测量原理，它还可以测量两点间的水平距离，但精度不高 。

二、经纬仪： 由照准部、水平度盘和基座三部分组成。主要功能是测量两个方向之间的水平夹角，也可以测量竖直角，还可以测量两点间的水平距离和高差。
激光经纬仪是在光学经纬仪的望远镜上加装一只激光器而成。有如下特点:
（1）望远镜在垂直(或水平)平面上旋转，发射的激光可扫描形成垂直(或水平)的激光平面，在这两个平面上被观测的目标，任何人都可以清晰地看到。
（2）激光经纬仪主要依靠发射激光束来扫描定点，可不受场地狭小的影响。
（3）激光经纬仪可向天顶发射一条垂直的激光束，用它代替传统的吊坠吊线法测定垂直度，不受风力的影响，施测方便、准确、可靠、安全。
（4）能在夜间或黑暗的场地进行测量工作，不受照度的影响。

三、全站仪： 由电子经纬仪、光电测距仪和数据记录装置组成，而且几乎是在同一瞬间内得到平距、高差、点的坐标和高程。